往智云微电子通城基地。
并且一去就是直奔第二号厂。
第二号厂,这也是智云微电子收购了通城半导体,进军半导体制造产业后,所投资建立的第一家十二寸晶圆厂。
一开始只建立了一条四十五纳米产线,规模比较小,后续该产线也进行了升级,具备28纳米工艺的水平。
后来则是扩建了第二期工程,建设了一条十八纳米工艺的产线。
值得一提的是,其实智云微电子旗下的各晶圆厂,很多晶圆厂其实同时具备不同工艺的生产能力,往往拥有多条产线。
一座晶圆厂,其实称之为一个生产基地更适合一些,并不是单纯只有一条某特定工艺的芯片产线。
第二厂就是属于这种,第一产线可以量产28-45纳米工艺,采用的是套刻精度五点五nm的duv浸润式光刻机,采用单次曝光可以生产28纳米,同时也具备生产32纳米,40纳米以及45纳米的能力!
这个主要看客户的需求,根据客户的需求来进行调整,目前来说这条产线考虑到成本以及市场问题,主要生产28nllp工艺为主。
第二产线,则是后续扩张建成,采用套刻精度三点五纳米工艺的duv浸润式光刻机,可以实现双重曝光,其光刻机等核心设备,在理论上可以生产10-22纳米工艺节点,当然,目前的技术也只推进到第二代十四纳米工艺,即十二纳米工艺。
十纳米工艺的话,智云微电子的工艺部门暂时还没有解决,最早也要年底才能够完成技术认证了。
智云微电子去年年底,对第一厂的第二产线进行了部分设备升级,然后使得其具备了量产十四纳米工艺的水平。
因为刚完成技术升级,没有其他繁重的生产任务,因此也就被作为第二代十四纳米工艺,即宣传口径里的十二纳米工艺的技术验证工作。
后续该厂也将会作为第一批量产十二纳
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