归类好之后，陈国华这才说道：
“他们倒是挺厉害的，居然能够在这个时候将投影式光刻机给造出来了，不简单啊”
原时空的历史上，铂金埃尔默科学仪器公司率先推出了第一台投影式光刻机，也就是在掩膜和硅片之间加了两个凹面的球形透镜，一个球形透镜造成的图像畸变可由另一个球形透镜纠正回来，这样既避免了掩膜和硅片的接触，又实现了缩印的效果。
但是很明显，这个时空的铂金埃尔默科学仪器公司并没有将这个投影式光刻机给造出来，就被贝尔实验室他们给抢先了。
其实科技发展到了如今的地步，加上华润公司推出来的电子产品的刺激，那么实现这样的技术突破，十分正常。
最关键的是，陈国华通过张继汉提供的这些资料，很容易就确定了一点。
那就是贝尔实验室他们推出来的这款投影式光刻机是自动化步进投影式光刻机。
为什么要这么说呢？
首先，大规模集成电路的生产要求是大批量，只有这样才能够降低成本。
投影曝光通过光学程序的方法将掩膜图形投影到硅片表面，图像质量完全取决于光学成像系统，与掩膜到硅片之间的距离无关。
其次，自动化步进可以理解为光刻的时候，不用锤子手工对准楔子，防止砸手，如此一来便提高了精度和效率。
最后，步进投影式光刻的掩膜扫描的速度可以高达2400mm/s，对应的晶圆移动速度是600mm/s。
换句话说，较高的扫描速度可以缩短曝光时间，从而提高光刻机的产能。
因此自动化步进投影式光刻机跟原时空历史上，那家铂金埃尔默科学仪器公司研发的投影式光刻机仅有一比一的分辨率来说，那就是巨大的进步。
并且到了这个时候，光刻机也意味着进入到了投影时代，镜头质量越来越重要。
那些
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