开始,离子注入设备、光刻机相关配套设备全部启动,一切都运转正常。
看着块儿状的铸锭被切成晶圆,接着进入第二道工序,那就是在晶圆的正面雕刻晶体管。
其实,光是晶圆切割,陈国华就准备了三种办法。
一种是划片机的切割办法,另一种则是刀片切割。
这两种办法都是先切割,然后再减薄。
办法有点笨,也很耗费时间。
此外,刀片切割是指用金刚石刀片切割晶圆,这种方法容易产生摩擦热和碎屑并因此损坏晶圆。
第三种办法,那就是等离子切割了。
等离子切割采用等离子刻蚀的原理,因此即使划片线间距非常小,这种技术同样能适用。
对陈国华来说,性价比最高的还是等离子切割的办法。
毕竟他早已经准备好了相关设备,毕竟离子刻蚀这技术,他也已经攻克了。
一切进展都还算顺利,却在九点的时候,光刻机启动没多久,供电所的外部电源,直接在冒烟之后,停了。
后勤部门这边的两位电工师傅,第一时间去查看了。
葛守志作为后勤主管,更是第一时间打电话联系供电所那边。
好家伙,昨天还信誓旦旦地保证,现在却打脸了。
很快,供电所的人过来了,他们看着振华研究所的两位电工师傅正在检修,也是纳闷不已。
昨天还好好的,咋地现在就出事了呢?
邱宗岳也刚好过来,结果却发现来了不少人,当即便紧张了起来。
“小葛,出了什么事儿吗?不会是芯片没造出来吧?”
早几天之前,陈国华就跟邱宗岳做了工作汇报,知道了近是芯片制造的重要日子。
因此,邱宗岳在忙完了自己最重要且紧急的工作之后,便急匆匆赶过来了。
只因为陈国华早就说过了,
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