的来。
“咦,孙博?”这次不是电话,而是微信语音,纪弘也是愣了一下,孙博有什么事儿都是直接留言的,从来没打过语音。
他也是接下:“孙博?什么情况?”
“你昨天给我的那些个数据是什么?”孙博上来直接问道。
“伱没……”纪弘正想说“你没算出来吗”的,结果话没出口就被急促的孙博给打断了:“是不是光刻机双工件台系统?而且是双工件台六自由度模型?”
纪弘瞬间一惊,倒不是因为孙博根据一堆数据算出了是哪儿使用的——数学模型这东西他算不出来才显得奇怪。
纪弘惊得是他急匆匆的打微信语音的行为、现在急促的状态以及明显已经在不由得发颤的声音。
“大约是。”纪弘灵感里记录的确实是这样说的来着:“出什么问题了?”
“你……”简直不知道说什么好,事实上,他一开始也不知道这玩意儿意味着什么,后来楚强的行为动作让他有所猜测。
直到今天早上八点,科学院一个院士带着一群专家直接找他家里来了,他才意识到事情比较大发。
“这东西很先进?”孙博张口就问出了一个很傻的问题。
“先进不先进要看怎么去看待这个事儿。”刘院士摇了摇头:“单从精度结果上看,确实算不上先进。
“早好几年,水木大学和沪上微电子就成功的搭建了运动精度为 10nm的气浮工件台为基础的光刻机。那个运动控制的最高精度甚至可以达到 2nm,比你手里的这份数据强多了。
“但是,你知道为什么,沪上微电子的三台28nm光刻机验证机一直在验证,还没有办法向晶圆厂批量交付吗?”
“啊?”孙博懵了,“啊”了一声,心道:这我哪儿知道这个啊,我只会数学啊,要不要你给我一批数据,我给你们算算,兴许能算出来点儿什么,你这干问,我上哪儿知道
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